1.Material: 窒化アルミニウム。
2.機能:断熱と放熱セラミック。
3.タイプ:セラミック。
4.色:グレー。
5. カスタム可能: はい、特定の製品の図面を提供してください。
静電チャック用窒化アルミニウムセラミックス
製品説明:
静電チャック (ESC) は、処理中にウェーハを保持するために、さまざまな半導体プロセスで使用されます。 ESC は一体型電極を備えたプラテンを採用しており、高電圧でバイアスをかけられてプラテンとウエハーの間に静電保持力を確立し、それによってウエハーを「チャッキング」します。
当社の窒化アルミニウム基板 (AlN) は、さまざまなサイズと厚さで入手できます。大量の在庫があるおかげで、プロジェクトを開始するためにパーツを迅速に発送できます。
当社のサービス:
カスタマイズについてはお問い合わせください。また、熱伝導率が最大 230W/mK の窒化アルミニウム (AlN) セラミックも供給できます。
仕様:
寸法 (LxW) | φ170mmなど |
厚さ | 10mmなど |
熱伝導率 | 170W/m.K |
誘電率 | 8-9 (メガヘルツ) |
かさ密度 | 3.3g/cm³ |
表面粗さ | 両面 Ra ≤6 μm |
会社の利点:
Huaqing は 2004 年に設立され、総投資額は 8000 万元、登録資本金は 4000 万元です。 Huaqing の AlN & Al2O3 セラミック製品は、業界の他の工場と比較して、高い熱伝導率、低い誘電率、優れた散逸率、および優れた機械的特性を備えています。 AlN および Al2O3 セラミックは、HBLED、光通信、IGBT、パワー デバイス、TEC、およびその他のハイエンド アプリケーションで広く使用されています。
研修会及び装置:
梱包と配送:
UPS、DHL、Fedexなどで配達
私たちのサービスが必要な理由は、プロジェクトが適切に行われ、機能することを確認するための専門知識と経験を持つ、高度な資格を持つ専門家を獲得していることを知っているからです。
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