1.材質:窒化アルミニウム。
2.機能:断熱・放熱セラミック。
3.タイプ:セラミック。
4.色:グレー。
5.カスタマイズ可能:はい、特定の製品の図面をご提供ください。
静電チャック用窒化アルミニウムセラミック
製品説明:
静電チャック(ESC)は、様々な半導体プロセスにおいて、処理中にウェハを保持するために使用されます。ESCは、高電圧を印加された一体型電極を備えたプラテンを用いて、プラテンとウェハの間に静電的な保持力を発生させ、ウェハを「チャック」します。窒化アルミニウムセラミックは高い熱伝導性と絶縁性を有し、ESCの材料として使用できます。
当社の窒化アルミニウム基板(AlN)は、様々なサイズと厚さをご用意しております。豊富な在庫により、お客様のプロジェクト開始に迅速に対応し、部品を迅速に発送いたします。
当社のサービス:
カスタマイズについてはお問い合わせください。また、熱伝導率最大230W/mKの窒化アルミニウム(AlN)セラミックもご提供可能です。
仕様:
寸法(長さx幅) | φ170mm等 |
厚さ | 10mmなど |
熱伝導率 | 170W/mK |
誘電率 | 8~9(MHz) |
嵩密度 | 3.3 g/cm³ |
表面粗さ | 両面Ra≤6μm |
会社の強み:
華清は2004年に設立され、投資総額は8,000万人民元、登録資本金は4,000万人民元です。華清のAlNおよびAl2O3セラミック製品は、業界の他社製品と比較して、高い熱伝導率、低い誘電率、良好な誘電正接、そして優れた機械特性を誇ります。AlNおよびAl2O3セラミックは、高輝度LED、光通信、IGBT、パワーデバイス、TECなどのハイエンドアプリケーションに広く使用されています。
ワークショップと設備:
梱包と配送:
UPS、DHL、Fedexなどで配送
私たちのサービスが必要な理由は、プロジェクトが適切に行われ、機能することを確認するための専門知識と経験を持つ、高度な資格を持つ専門家を獲得していることを知っているからです。
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