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窒化アルミニウムセラミック基板
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半導体用窒化アルミニウムセラミック静電チャック

半導体用窒化アルミニウムセラミック静電チャック

当社の窒化アルミニウムは、酸化、化学的攻撃、熱衝撃に対する優れた耐性、機械的強度、低誘電率、シリコン結晶と同様の熱膨張係数、および高い熱伝導率を備えています。

製品の詳細:

  1. 材質:窒化アルミニウム。
  2. 機能:断熱性と放熱性。
  3. 色: グレー。
  4. タイプ: セラミック。
  5. カスタマイズ可能: はい、特定の製品の図面を提供してください。

半導体用窒化アルミニウムセラミック静電チャック

製品説明:

最新の半導体製造プロセスでは、ウェーハは複数のステップで処理され、ウェーハは数百のプロセス装置間を行き来する必要があります。したがって、ウェーハをクランプするための装置が必要です。静電チャックは静電吸着によりウェーハを保持することができ、吸着力が均一で安定しており、ウェーハの反りや変形がなく、ウェーハの加工精度と清浄度を確保できます。

当社のサービス:

当社の窒化アルミニウム基板は、さまざまなサイズと厚さをご用意しています。

仕様:

寸法(長さ×幅)φ110×110mm
厚さ5mmなど
熱伝導率170W/m.K
誘電率8~9(MHz)
かさ密度3.3g/cm3
表面粗さラ < 両面0.6μm

会社の利点:

華清は2004年に設立され、投資総額は8,000万人民元、登録資本金は4,000万人民元です。 Huaqing の AlN および Al2O3 セラミック製品は、業界の他の工場と比較して、高い熱伝導率、低い誘電率、良好な誘電正接、優れた機械的特性を備えています。 AlN および Al2O3 セラミックは、HBLED、光通信、IGBT、パワーデバイス、TEC、その他のハイエンドアプリケーションで広く使用されています。

ワークショップ&設備:

梱包と配送:
UPS、DHL、Fedexなどで配送します。

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