継続的なイノベーションで窒化アルミニウムファインセラミックスの新たな道をリードする

近年、電子部品実装用の窒化アルミニウムセラミック基板が話題になっていました。中国には、この分野で国際先進レベルに達し、海外で高い売上を上げている優秀な企業がたくさんあります。ただし、窒化アルミニウムセラミックの用途はまだ発展途上にあり、重要な領域を探索し、突破する必要があります。半導体産業を例にとると、半導体製造装置は大規模化とともに精密かつ複雑に進化し続けています。ファインセラミックスの研究開発と生産は、半導体製造装置の基幹部品として装置製造業界、さらには産業チェーン全体に直接影響を与えます。高純度窒化アルミニウムセラミックスは、耐熱性に優れ、導電性・絶縁性にも優れているため、ウエハ加熱用ヒーターや静電チャック等に応用できます。このような製品はシリコンに近い熱膨張係数を有するため、耐プラズマ性に優れています。また、AlNファインセラミックスは、航空、鉄道、新エネルギー車両、高出力LED、5G通信、電力輸送、産業制御等の分野において、基幹機器部品としてかけがえのない役割を果たしています。

▲窒化アルミニウムファインセラミックス

AlNセラミックスの国内企業といえば、窒化アルミニウムセラミックス基板の大手サプライヤーである福建華清電子材料技術有限公司について言及する必要があります。 2004年に設立された当社は、長年にわたる工業化された研究開発、生産改善、市場検証を通じて、鋳造法を使用してハイエンドAlNセラミック基板を大規模に生産する中国初の企業となりました。清華大学新セラミック・微細加工国家重点実験室の科学研究成果を導入し、華清電子材料は独創性と優先順位を有し、国内産業のギャップを埋める特許80件を保有している。現在、華清の窒化アルミニウムセラミックス基板は国内の生産量と売上高で第1位となっています。

当社は最近、新製品事業である窒化アルミニウムファインセラミックスに注力しています。

過去2年間、華清は人材の導入を加速し、10人以上の医師、修士、40人以上の学部生の人材を導入し、技術研究を大幅に強化し、強みを発展させた。研究開発設備への投資の増加により、華清は現在、テープキャスティング、射出成形、乾式プレス、冷間静水圧プレス、温間静水圧プレスなどの高度な設備と技術を完備した国際的な先進セラミックス生産、機械加工、試験装置を備えています。華清はこれまでに、原料準備、成形、焼結、機械加工に至るまでの垂直統合を実現し、顧客の期待を超える製品とサービスを一貫して提供してきました。一方、当社には独立した研究所とテストセンターがあり、お客様にカスタマイズされた開発および迅速な分析サービスを提供できます。

ファインセラミックスは華清電子材料が推進する主要プロジェクトです。ファインセラミックスは、半導体製造装置、医療、光学、自動車、精密機器などの幅広い分野で、さらなる事業領域の拡大と最先端を支える高性能・高精度のセラミックスです。

AlN業界における長年の技術蓄積を経て、華清はAlNファインセラミックスの分野で新たな道を開拓しました。現在、国内のほとんどのAlNセラミックスの寸法精度は、寸法公差0.05mm、平面度0.02mm、表面粗さ0.6のレベルにとどまっています。μメートル。しかし、華清は外形寸法公差5の製品など、より精密なミクロンレベルのAlNセラミックス製品を海外顧客向けに提供し始めています。μm、内側5μm、円柱度 3μm、平面度3μμｍ、粗さ２０ｎｍ。

▲窒化アルミニウムファインセラミックス 

特筆すべきは、半導体製造装置に使用される窒化アルミニウムセラミックス加熱プレートを生産できる外資系企業は京セラなど数社だけだが、華清も躍進を遂げたということだ。プロセスチャンバー内でウェーハを加熱するためのこの種の加熱プレートは、高い導電性とプラズマ独立性を備えており、非常に高い製品純度が必要です。そして粉体から後処理までの工程を厳密に管理しています。

▲窒化アルミニウムセラミックス加熱プレート

Huaqingが製造する窒化アルミニウム加熱プレートは、顧客のニーズに応じてサイズや特殊な形状の製品をカスタマイズし、迅速な加熱と冷却を実現できます。走査型電子顕微鏡は、窒化アルミニウムセラミックが均一な粒径を有し、温度差のない均一な熱分布を達成していることを示しています。半導体装置の主要なコアコンポーネント（PVD、CVD、ETCH、プロセッサー）に適用できます。

▲中心的事業

AlNセラミックス基板にしろファインセラミックスにしろ、中国ではまだ技術と市場の初期段階にある新しい産業です。業界の技術的障壁は高く、外資系企業が長い間独占しているため、突破するのは困難です。華清市の約 20 年にわたる道路開拓に費やされたコストとエネルギーは計り知れません。常に最前線に立つ開拓者になるには、大きな決意が必要だからです。しかし、果敢に責任を負い、常に自社の強みを強化することを第一に考えた企業のみが今日の成果を達成することができます。

華清は今後も「初心のままに」という実践方針を貫いていきます。良い素材を開発してください。」強い意志とパイオニア精神で中国の窒化アルミニウムセラミックス産業の高品質な発展をリードし続けています。電子セラミックス材料のトップクラスサプライヤーへの発展を目指して、弛まぬ努力を続けます。

この記事は 360powder.com からの転載です