絶え間ない革新で窒化アルミニウムファインセラミックスの新境地を拓く

近年、電子パッケージング用の窒化アルミニウムセラミック基板が話題になっていました。中国には、この分野で国際的な先進レベルに達し、海外での販売が好調な優れた企業がたくさんあります。しかし、窒化アルミニウムセラミックスの用途はまだ発展途上にあり、重要な分野を探求し、突破しなければなりません。半導体産業を例にとると、半導体製造装置は大規模化とともに精密化と複雑化が進んでいます。半導体製造装置の要であるファインセラミックスの研究開発・生産は、装置製造業全体、さらには産業チェーン全体に直接影響を与えます。高純度の窒化アルミニウムセラミックスは、耐熱性、導電性、絶縁性に優れており、ウエハー加熱用ヒーターや静電チャックなどに応用できます。 この種の製品は熱膨張係数がシリコンに近く、耐プラズマ性に優れています。また、航空、鉄道、新エネルギー車、ハイパワーLED、5G通信、電気輸送、産業制御などの分野でも、AlNファインセラミックスは重要な機器部品としてかけがえのない役割を果たしています。

▲窒化アルミニウムファインセラミックス

AlNセラミックスの国内企業に関して言えば、窒化アルミニウムセラミックス基板の主要サプライヤーであるFujian Huaqing Electronic Material Technology Co.、Ltd.に言及する必要があります。 2004年に設立された当社は、長年にわたる工業化された研究開発、生産改善、および市場検証を通じて、鋳造法を使用してハイエンドAlNセラミックス基板を大規模に生産する中国で最初の企業になりました。華清電子材料は、清華大学の新セラミックスおよび精密加工の国家重点実験室の科学的研究の結果を紹介し、国内産業のギャップを埋めるために80の特許を保有しており、独創性と優先性を備えています。現在、華清の窒化アルミニウムセラミックス基板は、国内の生産量と売上高で首位にランクされています。

最近、当社は新しい製品事業である窒化アルミニウム ファイン セラミックスに力とリソースを注ぎ込んでいます。

過去2年間、Huaqingは人材紹介を加速し、10人以上の医師、修士、40人以上の学部生の才能を紹介し、技術研究を大幅に強化し、力を発展させました。研究開発設備への投資の増加に伴い、Huaqing は現在、テープ キャスティング、射出成形、乾式プレス、冷間静水圧プレス、および温間静水圧のための高度な機器と技術の完全なセットを所有する、国際的な高度なセラミック生産、機械加工、および試験装置を備えています。これまでのところ、Huaqing は、顧客の期待を超える一貫した製品とサービスを提供するために、粉末の準備、成形、焼結、および機械加工から垂直統合を達成しました。その間、私達はカスタマイズされた開発および急速な分析サービスを顧客に提供できる独立した実験室および試験センターを持っています。

ファイン セラミックスは、華清電子材料が推進する重要なプロジェクトです。ファインセラミックスとは、半導体製造装置、医療、光学、自動車、精密機器など幅広い分野で活躍する高性能・高精度のセラミックスであり、さらなる事業領域の拡大と先端技術の発展に貢献しています。

AlN 業界での長年の技術蓄積の後、Huaqing は AlN ファイン セラミックスの分野で新しいトラックを開発しました。現在、国内のほとんどの AlN セラミックスの寸法精度は、寸法公差 0.05mm、平面度 0.02mm、表面粗さ 0.6 のレベルにとどまっています。μメートル。しかし、Huaqing は、外形公差の製品など、海外の顧客向けに、より精密なミクロン レベルの AlN セラミックス製品を提供し始めています 5。μメートル、内側 5μm、円筒度 3μm、平坦度 3μm、粗さ20nm。

▲窒化アルミニウムファインセラミックス

半導体製造装置で使用される窒化アルミニウムセラミックス加熱プレートを製造できるのは、京セラなどの少数の外国企業のみであり、現在、華清もブレークスルーを達成しています。プロセスチャンバー内でウェーハを加熱するためのこの種の加熱プレートは、高い伝導性とプラズマ非依存性を備えており、非常に高い製品純度を必要とします。また、粉体から後加工までの工程は厳密に管理されています。

▲窒化アルミニウムセラミックス加熱プレート

Huaqingが製造する窒化アルミニウム加熱プレートは、顧客のニーズに応じてサイズまたは特殊な形状の製品をカスタマイズし、加熱と冷却を迅速に実現できます。走査型電子顕微鏡は、窒化アルミニウムセラミックが均一な粒子サイズを持ち、温度差のない均一な熱分布を実現することを示しています。半導体装置（PVD、CVD、ETCH、プロセッサー）の主要なコアコンポーネントに適用できます。

▲中心的事業

AlN セラミックス基板であれ、ファイン セラミックスであれ、それはまだ中国の技術と市場の初期段階にある新しい産業です。業界の技術的障壁が高く、外資系企業が長い間独占しているため、突破するのは困難です。 Huaqing の 20 年近くに及ぶ先駆的な道路に投資されたコストとエネルギーは計り知れません。しかし、責任を持ち、常に自らの力を強化することを第一に考える企業だけが、今日の成果を達成することができます。

将来的には、華清は実践方針を維持します。良い素材を開発する」。強い意志とパイオニア精神で、中国の窒化アルミニウムセラミックス産業の高品質な発展をリードし続けます。世界トップクラスの電子セラミックス材料サプライヤーへと発展するための絶え間ない努力。